p;这台命名为CG-1的光刻机，虽然还不是EUV光刻机，因为华国还没搞定光源，但已经是传统DUV光刻机路线下的极限。
“梁工，你犯了一个绝对稳定的工程错误。”林燃轻声提醒道。
梁孟松一愣，不解地看着林燃。
在过去的合作过程中，梁孟松知道林燃也许对工艺没有他那么熟练，但对方天马行空的想法，尤其是在数学解决工程上的能力，绝对是蓝星之最。
他们内部团队戏称，数学上的问题如果林燃没有办法解决，那这个地球上就没有人能解决了。
“我们用超构透镜的极限精度，实现了 4nm的理论分辨率。
但你试图用传统的静态被动稳定方法，不管是隔绝振动还是恒温恒湿去驯服它。
我们花无数时间去调试，去追求一个理想中永恒不变的完美焦点。”
林燃抬手，指了指空气，似乎他们眼前就有CG-1光刻机一样。
“但CG-1的透镜组，永远不可能像 ASML的纯石英镜片那样稳定。
它的材料、它的结构，注定对环境更敏感。
无论是从现在，还是从长远来看，我们都必须放弃绝对稳定的幻想，转向动态补偿。”
(本章完)
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