林远身体前倾，双手交叉放在桌上，目光如炬。
“我要的不是机器。”
“我要的是——光的算法。”
他抛出了一个让所有人都意想不到的概念：“计算光刻。”
温彼得和马丁对视一眼，都看到了对方眼中的震惊。
“温彼得先生，”林远打开了自己的ppt，“我们都知道，光刻机的物理精度是有极限的。但是，决定芯片最终良率的，不仅仅是镜头和光源，还有掩膜版的图形设计。”
“光线在穿过掩膜版时，会发生衍射和干涉，导致投射到硅片上的图形发生畸变。本来是直角的电路，印出来变成了圆角；本来是分开的线条，印出来粘连在了一起。”林远顿了顿，继续说道，“为了修正这种畸变，我们需要光学邻近效应修正技术，也就是opc。”
“通过极其复杂的数学算法，反向计算出掩膜版上应该有的形状。这需要海量的算力，和对光刻机光源特性的绝对了解。”
林远看着马丁，语气变得极其郑重：“我们有昆吾平台，我们有燕山超算的E级算力，我们有盘古AI大模型。但是，我们没有ASmL光刻机的光源模型数据。”
“你们的光源，波长漂移、光强分布、相干性等各项参数是保密的。没有这些数据，我们的opc算法就是瞎子。”
“我的提议是：成立启明-ASmL联合计算光刻实验室。”
“我们出算力、AI算法以及昆吾EdA平台中的opc引擎；你们出光源模型数据、透镜像差数据以及光刻胶的光化学反应模型数据。”
“目标是开发一套全新的，基于AI的逆向光刻技术系统。”
林远的眼中闪烁着精光，那是猎人看到猎物即将落网时的兴奋：“这套系统不需要EUV。它能让现有的dUV光刻机，通过多重曝光和极致的软件修正，生产出7纳米，甚至5纳米的芯片！”
“这就是——软件定义制造！”
整个会议室陷入了死一般的寂静。
马丁的手在微微颤抖。作为全球最顶尖的光刻机专家，他太清楚这个方案的可行性了。dUV光刻机的物理波长是193nm，通过浸没式技术可以等效为134nm。理论上，通过多重曝光确实可以做到7nm。
但其代价是掩膜版的设计复杂度呈指数级上升，计算量大到惊人。传统的软件处理一张7nm的全芯片版图，需要跑上几天几夜。
但如果有中国那近乎无限的廉价算力和基于GpU加速的AI算法？
也许，真的可以！
“这不违反瓦森纳协定。”林远的律师高翔适时地补了一句，“我们交换的是数学模型和算法，不是实体设备。这是科学研究。”
温彼得闭上眼睛，在脑海中飞快地权衡利弊。拒绝，意味着失去光子芯片的未来，而且中国人可能会自己摸索出这套算法，虽然慢一点，但迟早会做出来。同意，不仅能获得光子技术的门票，还能通过卖软件服务和老旧的dUV设备，在中国市场再赚一笔巨款。
“……成交。”
温彼得睁开眼，做出了决定：“但是，我有两个条件。第一，这个实验室注册在新加坡，数据不出境。第二，ASmL拥有这套系统的海外独家销售权。”
“没问题。”林远笑了。
他要的本来就不是海外市场，他要的是能不能造出来。
……
协议签署后，代号为女娲的项目在新加坡地下的数据中心秘密启动。女娲炼石补天，他们要修补的，是光刻技术的物理缺陷。
这不仅仅是写代码，这是在用数学挑战物理学的极限。
汪韬带领的算法团队，和汉斯带领的工业软件团队，在这里进行了为期三个月的地狱式攻关。
最先横亘在他们面前的，是计算量的爆炸。
传统的opc是基于规则的，比如在直角处加个耳朵来修正。而他们要做的逆向光刻，是将掩膜版设计看作
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