荷兰,维尔德霍芬。
这里是全球半导体设备霸主ASL的总部所在地。这座看似普通的欧洲小镇,掌握着人类精密制造的最高机密。
林远和王海冰一行人,在细雨中抵达了ASL的研发中心。
迎接他们的,是ASL的全球总裁温彼得,以及公司的技术灵魂、首席技术官马丁·范登布林克。
会议室没有任何多余的装饰,只有一块巨大的白板和一台投影仪。
“林先生,”温彼得开门见山,表情严肃,“在开始之前,我必须重申:受限于《瓦森纳协定》和美国商务部的最新出口管制规则,我们无法向中国出售、租赁或转让任何涉及EUV技术的设备、零部件及图纸。”
“哪怕一颗螺丝钉也不行。”
“我知道。”林远平静地坐下,“我也没打算买EUV。”
“那您来做什么?”马丁疑惑道,“现在的先进制程在7n以下,没有EUV几乎是不可能的。单纯靠dUV深紫外的多重曝光,良率会低到让你破产。”
“物理上是不可能。”林远指了指自己的太阳穴,“但数学上,是可能的。”
“我来,是想和你们谈谈计算光刻。”
林远示意王海冰打开电脑,将一份名为《基于AI加速的逆向光刻技术(ILt)解决方案》的ppt投射在屏幕上。
“马丁先生,您是光刻专家。您应该知道,光刻机的本质,是一个光学成像系统。”
“当光线穿过掩膜版投射到硅片上时,由于光的衍射特性,图形会发生畸变。直角变圆角,线条变粗细。”
“为了修正这种畸变,我们传统上使用opc光学邻近效应修正技术。通过在掩膜版上增加一些‘亚分辨率辅助图形来补偿。”
“但是,”林远话锋一转,“随着制程进入7n,传统的opc已经失效了。掩膜版的图形复杂度呈指数级上升,计算量大到无法想象。”
“现在,唯一的解决方案是逆向光刻技术。”
“不再是修正图形,而是根据目标图形,反向计算出完美的掩膜版形状。”
马丁点了点头,神色凝重:“理论上是这样。但ILt的计算量是opc的100倍。处理一颗满光罩的芯片,需要数万个cpU核跑上几个月。这在工程上是不可接受的。”
“如果……”林远看着马丁,“我能把计算时间,缩短到10小时呢?”
“不可能!”马丁脱口而出。
“没有什么不可能。”林远切换了一张架构图。
“1.算力暴力破解:我们拥有启明云和青川智算中心。我们不缺cpU,也不缺GpU。我们可以调用10万张AI加速卡,进行大规模并行计算。”
“模型加速:汪韬的团队训练了一个专门的光刻成像神经网络。它不需要像传统算法那样去解繁琐的麦克斯韦方程组。它只需要看一眼电路图,就能预测出光的衍射行为。”
“我们将物理建模与深度学习结合,速度提升了500倍。”
“3.端到端协同:我们的昆吾EdA软件,可以直接输出适合ILt计算的数据格式,无需中间转换。”
林远抛出了他的筹码:
“温彼得先生,马丁先生。”
“ASL现在面临的问题是:EUV产能不足,且极其昂贵;dUV虽然成熟,但面临技术天花板。”
“如果你们愿意合作,我们将向ASL开放这套AI光刻加速引擎。”
“你们提供光源模型数据和透镜像差数据,我们提供算力和算法。”
“我们联手,用软件压榨出dUV光刻机的物理极限。让193n波长的dUV,在不使用EUV的情况下,稳定生产出7n,甚至5n的芯片!”
温彼得和马丁对视了一眼。
他们看懂了林远的意图。
这是一笔技术置换。
中国出算力,荷兰出光学硬件。
如果成功,ASL将能通过软件升级,让存量的数千台dUV光刻机焕
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