子层沉积。”
林远看向李振声。
“我们在普罗米修斯计划里，不是搞到了TDMAT的前驱体工艺吗？那是用来做半导体栅极的。”
“现在，我要你们把ALD技术，用到光学镀膜上！”
“ALD是一层一层原子长的。它的致密度，比IBS还要高！”
“但是，”张教授犹豫道，“ALD太慢了。长一微米要几天。而且，ALD可用的光学材料太少，折射率匹配很难。”
“那就做混合膜系。”
林远在白板上画了一个三明治结构。
“底层：用国产电子束镀膜，做厚度。”
“表层：用ALD镀一层50纳米的致密保护层，做封孔！”
“就像给疏松的墙面，刷一层防水漆。”
“只要水分子进不去，LIDT阈值就能提上来！”
这是一个典型的“土法炼钢”思路，用两种低端工艺的组合，去逼近高端工艺的效果。
方案确定，立刻执行。
经过两周的折腾，第一批采用E-bea+ALD复合工艺的镜片下线了。
上机测试。
激光器启动。波长193n，功率10W。
十分钟过去了。膜没破。
三十分钟过去了。膜依然完好。
“成功了！”张教授激动得握紧了拳头。
但是，负责算法的汪韬，却皱起了眉头。
“不对。光斑散了。”
屏幕上，原本应该汇聚成一个针尖大小的焦点，此刻却变成了一个模糊的光晕。
“焦距漂移了。”汪韬看着数据，“漂移了整整2毫米。这对于纳米级的光刻计算来说，误差是致命的。”
“为什么会漂移？”林远问。
“热透镜效应。”李振声教授叹了口气。
“虽然膜没破，但它依然有微弱的吸收。吸收产生热量。”
“镜片受热，中间膨胀，折射率发生变化。原本的平光镜，变成了一个凸透镜。”
“而且，这个效应是动态的。功率越高，透镜效应越强。焦点就跑得越远。”
“这是物理规律，没法消除。除非你能把吸收率做到零，那是上帝才能做到的事。”
死局。
即便解决了烧蚀问题，热畸变依然让光学系统无法进行高精度计算。
“不能消除，那就抵消。”
林远突然想到了什么。
“你们知道天文望远镜是怎么消除大气扰动的吗？”
“自适应光学。”
林远在白板上画了一面镜子。
“我们在这个光路里，加一面变形镜。镜子背面，有几百个压电陶瓷致动器。”
“汪总，我要你训练一个AI模型，实时监测焦点的漂移量。”
“然后，控制那些压电陶瓷，微米级地改变镜面的曲率。热透镜让光聚焦，我们就让变形镜把光发散。”
以毒攻毒！动态补偿热畸变！
汪韬的眼睛亮了：“这是个好主意！这相当于给光路装了一个实时眼镜。不管你怎么热，我都能把你矫正回来！”
加入了变形镜后，焦斑终于稳定了下来。
深紫外光子计算原型机，第一次实现了连续1小时的稳定运行。
但是，当林远试图将计算频率提升到10GHz时，一个新的幽灵出现了。
“数据出错了。”
汪韬看着输出结果，脸色难看。
“我们输入的是1+1，输出的却是2.5。”
“而且，这种错误是随机的，毫无规律。”
“不是量子噪声。”李振声排除了之前的故障，“这次是双光子吸收。”
“在193n波段，光子能量极高。当光强太高时，硅基波导材料会同时吸收两个光子，产生自由载流子。”
“这些载流子会改变波导的折射率，导致光信号的相位发生非线性相移。”
“简单说：光太强，把路给照
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