p> “江钢的重卡路过、隔壁车间的冲压机、甚至50公里外的高铁经过，都会通过地壳传导过来微震。”
“这些震动频率在1hz到100hz之间。对于光路来说，这就是大地震。”
光斑在靶面上疯狂跳动，根本无法锁定。
“被动隔振弹簧、气垫没用。”汪韬看着数据，“低频震动隔不掉。”
“必须上主动稳像。”
林远下令。
“1. 传感器：在光路每一个转折点，安装pSd位置敏感探测器。实时捕捉光斑的偏移量。”
“2. 执行器：把反射镜座，换成压电陶瓷快速反射镜Fast Steering mirror, FSm。”
“3. 算法：汪总，上盘古控制模型。搞一个高带宽闭环反馈系统。”
“当pSd检测到光斑偏了0.1微米，FSm要在0.1毫秒内，偏转0.001度，把光踢回去！”
系统搭建完毕。
FSm反射镜发出高频的“滋滋”声，它在以每秒1000次的频率微调角度，对抗着来自大地的震动。
“启动闭环控制。”
屏幕上，原本乱跳的光斑，突然像被钉子钉住了一样，死死地停在靶心中央。
抖动量：0.5微弧度。
“稳住了！”
但是，还没等大家高兴太久。
“警报！FSm驱动器过热！”
“压电陶瓷发热严重！线性度下降！”
高频震动带来了巨大的热量，导致压电陶瓷的迟滞效应变大，控制精度开始漂移。
“加散热！”林远当机立断。
“给每个镜座，加装半导体制冷片tEc，恒温控制在25±0.01度！”
这是一场与“熵”的战斗。为了维持那一束光的稳定，背后是无数套复杂的温控、电控系统在疯狂运转。
光强够了，光路稳了。
但在连续运行了24小时后，一个新的问题出现了。
“光功率在衰减。”
王海冰看着监控曲线。
“每小时衰减1%。照这个速度，三天后就没光了。”
“去检查镜片。”
工程师打开真空管道，取出了反射镜。
所有人倒吸一口凉气。
原本晶莹剔透的镜片表面，覆盖了一层薄薄的、黑色的物质。
“是碳。”张教授用光谱仪测了一下。
“哪里来的碳？”林远问，“我们的管道是超高真空UhV，10的负9次方帕。怎么会有碳？”
“光化学污染。”
汉斯叹了口气。
“真空系统里，不可避免地会有微量的有机挥发物Vocs。比如密封圈释放的烷烃、泵油的蒸汽。”
“在193nm高能光子的轰击下，这些有机分子会发生裂解，碳原子沉积在镜片表面，形成石墨层。”
“石墨对紫外光是强吸收的。这层膜越厚，吸收越强，镜片越热，最后炸裂。”
这是深紫外光学系统的癌症。ASmL当年为了解决这个问题，花了整整五年。
“换金属密封圈？换无油泵？”王海冰问。
“没用。哪怕是一个分子的有机物，时间长了也会累积。”
“不能防，只能洗。”
林远提出了方案。
“我们不能每次都把镜子拆下来洗。那样光路又要重新调。”
“我们要搞原位清洗。”
“在每个反射镜仓里，安装一个射频等离子体发生器。”
“当我们不曝光的时候，向仓内通入微量的氧气。”
“激发氧等离子体。”
“活性氧原子o会与镜片上的碳发生反应，生成二氧化碳气体，被真空泵抽走。”
“这叫光刻机的透析。”
风险就是氧等
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