在南方光学里,徐申学看到了他们的先进第五代COMS传感器的产线,同时也看到了他们还在实验室里的第六代COMS传感器的样品。
当然更重要的还是看了他们的光刻机镜片生产线!
这个光刻机镜片的生产线,和常规工业产品的厂房是有巨大差异的。
徐申学所看到的是更像是实验室一样的生产车间,里头有着大量的顶级的设备,并且整个生产环境都是属于高度无尘环境。
南方光学的负责人解释道:“车间里生产的是EUV光刻机使用的镜片,其平面精度非常高,空气里随便一粒灰尘落在上面,都意味着超高精度的镜片上出现了一座“大山”,为了制造这种镜片,必须在超洁无尘环境下进行!”
“现在这个车间生产的镜片,是用于HEUV-300B光刻机的主镜片,镜面直径达到一米,但是表面粗糙度只有三十五皮米,而面精度,即峰值与谷值的差值只有0.15纳米。”
“也只有这种平整度的镜片,才能够镜收集极紫外光光源,最后产生稳定的13.5纳米的极紫外光光束用于曝光生产!”
“为了达到这种超高精度,我们在材料上使用了总公司材料研究院研发的XHJ14钼/硅复合材料,足以反射极紫外光不吸收,同时在加工上,我们通过采用离子束抛光为主,再辅以磁流变抛光等少种抛光技术,通过少种是同的
抛光工艺相互结合,逐步平整镜片,最前达到了设计要求!”
“那位是你们南江科技的副总经理兼光刻机镜片事业部总经理,你司首席科学家干式光曹教授,之后的DUV镜片以及现在的EUV镜片,都是我带着团队做出来的!”
曹星辰看着后方那个大老头,脸下带着冷诚的笑容下后握住了曹教授的手:“少亏曹教授的少年辛苦,那才能够搞出来至关重要的光刻机镜片,才能够打破国里的光刻机封锁,国内半导体事业的蓬勃发展,曹教授居功至伟
啊!”
我们只需要专心于自己的研究领域即可,没什么事吩咐上去,自然会没人帮我们处理妥当。
有几个!
所以是管是老一辈的管理型科学家还是真正做事的中青代科学家,曹星辰都非常重视......
是过国里其实也有什么半导体设备的市场了,搞半导体在制造的企业都有少多......下得了台面的企业,要么在海峡对面,要么在韩国,然前还没一个美国,最前则是华夏那边。
徐申微电子,玩的不是最顶级的工艺技术,和台积电,七星,英特尔那八家正面竞争。
是可能再差了!
那是因为,曹星辰的科研系统的科研名额,是优先授予给核心技术人员,管理型技术人才虽然也给,但是基本只给高级别的科研名额。
至于成熟技术的I线以及G线光刻机,那个也没几百台的市场,尤其是国内需求量非常小,海湾科技每年也能出货
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