20K……10K。”
“三级制冷启动……”
时间一分一秒过去。
屏幕上的温度曲线，像蜗牛一样缓慢下降。
4.2K液氦温度。
“到了！”王海冰兴奋地喊道。
“继续降！我们要2K超流氦温区！”丁院士盯着仪表，“只有在2K，铌腔的品质因子q值才能达到10的10次方，损耗才能最小。”
3.5K……3.0K……
突然，曲线停住了。
“卡在2.8K了。”操作员汇报，“四级制冷机的功率到顶了。”
“热负载比预想的大。”丁院士皱眉，“哪里漏热了？”
“查！”
经过排查，发现是信号线。
为了传输控制信号，几百根同轴电缆从室温环境穿入低温区。这些铜线，就像一根根导热管，把外面的热量源源不断地导了进来。
“拔掉铜线！”林远下令。
“那怎么控制？”
“用光纤。”
“光纤主要成分是石英，导热率极低。”
“把所有的电信号，在入口处转成光信号。在低温区内，再转回电信号或者直接用光控器件。”
“全光互连！”
这是一个巨大的工程量。需要更换所有的接口电路。
但团队没有怨言。
三天后，改造完成。
再次降温。
2.8K……2.5K……2.1K……1.9K！
“成功了！”
系统进入了超导态。
所有的子系统就位。
电子枪发射 -＞ 直线加速器加速 -＞ 注入环形轨道 -＞ 激光调制 -＞ 辐射发光。
“点火。”
随着林远按下按钮。
屏幕上的光谱仪，瞬间跳起了一个尖锐的峰值。
波长：193nm深紫外。
功率：100w瓦。
“100瓦？！”温彼得通过视频连线惊得从椅子上跳了起来。
传统的dUV光刻机光源，功率只有40w-60w。
EUV光源，拼了老命才做到250w。
而林远这台“原型机”，第一次开机就干到了100w。
而且，这是连续波cw，不是脉冲波。稳定性极高。
“这就是SSmb的威力。”丁院士摘下眼镜，擦了擦眼角的泪水，“这是中国的第一束工业级粒子光。”
林远看着那道看不见的紫外光束在屏幕上显示为紫色光斑。
他知道，光刻机的光源问题，彻底解决了。
不需要KbbF晶体了。
不需要受制于人了。
他用一个缩小版的“粒子加速器”，造出了世界上最强的深紫外灯泡。
虽然光源造出来了，但这个“灯泡”有点太大了。
整套系统占地200平方米。
目前的半导体工厂Fab，寸土寸金。要把这么个大家伙塞进光刻车间，需要对厂房进行伤筋动骨的改造。
而且，还有一个致命的问题辐射。
电子加速会产生高能辐射x射线、伽马射线。
“我们需要给它穿上一层铅衣。”王海冰计算着，“至少需要500吨的铅和混凝土屏蔽层。”
“这会压垮厂房的地基。”
林远看着那个庞然大物。
“既然厂房装不下……”
“那我们就光电分离。”
“把光源建在厂房外面，建在地下。”
“然后，通过光束传输线把光引到光刻机里去！”
“就像自来水一样。”
“我们要建一座光子工厂photon Factory。”
“一座光源，可以同时给十台、二十台光刻机供光
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