第427章 新问题的出现

！”

这又是一个颠覆性的概念。

ASmL的光刻机，是一机一源。

林远要搞“一源多机”。

这将彻底改变半导体工厂的形态。

但是，要传输193nm的深紫外光，普通的镜子不行，光纤也不行。空气都会吸收它。

需要“超高真空管道”和“多层膜反射镜”。

而这，又将触碰到另一个材料学的禁区。

林远刚放下的心，又悬了起来。